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　　2、7/74(2006.01) (54)发明名称 一种电子级硫酸的制备工艺 (57)摘要 本发明提供一种电子级硫酸的制备工艺， 涉 及化工产品制备技术领域。 该电子级硫酸的制备 工艺， 包括以下步骤： S1.首先将准备好的三氧化 硫气体通入除雾器除雾， 然后将除雾处理后的气 体通入到吸收塔内； S2.打开吸收塔上设置的超 纯水阀门向吸收塔内通入超纯水， 超纯水将三氧 化硫气体吸收生成高纯硫酸溶液， 然后生成的高 纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内； S3.将混合 槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却， 冷 却后的硫酸再次回到吸收塔内吸收三氧化硫气 体。 本发明提供一种电子级硫酸的制备工艺， 该 方法。

　　3、耗能以及成本都比较低， 并且拥有较高的杂 质去除率， 同时制备的过程中生成的污染气体大 部分都被处理干净， 对环境产生的污染很小， 非 常适合大规模生产。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 111994879 A 2020.11.27 CN 111994879 A 1.一种电子级硫酸的制备工艺， 其特征在于： 包括以下步骤： S1.首先将准备好的三氧化硫气体通入除雾器除雾， 然后将除雾处理后的气体通入到 吸收塔内； S2.打开吸收塔上设置的超纯水阀门向吸收塔内通入超纯水， 超纯水将三氧化硫气体 吸收生成高纯硫酸溶液， 然后生成的高纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内； S3.将混合槽的高纯。

　　4、硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却澳门太阳游戏网站， 冷却后的硫酸再次回到吸收 塔内吸收三氧化硫气体， 使得高纯硫酸浓度继续提升， 然后再次流入到混合槽内， 这一过程 一直保持循环， 直到混合槽液位上升至指定溢流口， 高纯度硫酸溢流至曝气塔； S4.打开曝气塔氮气阀门， 在曝气塔内通入高压高纯氮气澳门第一娱乐娱城官网澳门第一娱乐娱城官网， 高压高纯氮气对硫酸溶液进 行吹脱， 去除其中的二氧化硫气体， 去除掉二氧化硫气体的硫酸进入成品储槽存放； S5.将成品储槽内的高纯度硫酸通入过滤器内进行高精度过滤， 然后将过滤后的硫酸 进行充填处理得到电子级硫酸； S6.吸收塔尾气通入尾气吸收塔， 即一级水洗塔， 然后向尾气吸收塔内通入超纯水， 尾 气中的三氧化硫经澳门第一娱乐娱城官网。

　　5、被超纯水洗涤下来， 生成硫酸澳门第一娱乐娱城官网， 流到副产品槽内； S7.将尾气吸收塔内处理过的气体以及其他尾气通入到二级水洗塔内澳门第一娱乐娱城官网， 向二级水洗塔 内加入双氧水， 双氧水与尾气中二氧化硫反应成硫酸， 排放到副产品槽； S8.将副产品槽内的硫酸经过充填处理得到工业级硫酸； S9.将二级水洗塔内处理过的尾气通入一级碱洗塔， 向一级碱洗塔内通入NaOH溶液， 处 理后产生的废水通入工厂的废水处理站， 处理后产生的废气高空排放。 2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺， 其特征在于： 所述步骤S2中的向 吸收塔内通入超纯水的流量控制在150-200kg/h。 3.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺，。

　　6、 其特征在于： 所述吸收塔内的液 位控制在80-90。 4.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺， 其特征在于： 所述步骤S4中向曝 气塔中通入的氮气的压力为3kg/cm3。 5.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺， 其特征在于： 所述步骤S7中的其 他尾气包括混合槽、 成品储槽、 副产品槽以及充填过程生成的硫酸雾澳门娱乐网址， 还包括曝气塔产生的 氮气和二氧化硫气体。 6.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺， 其特征在于： 所述步骤S7中的双 氧水溶液中H2O和H2O2的的比例为1： 8。 7.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸的制备工艺， 其特征在于： 所述步骤S9中的 N。

　　7、aOH溶液中NaOH和H2O的比例为1： 1152。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111994879 A 2 一种电子级硫酸的制备工艺 技术领域 0001 本发明涉及化工产品制备技术领域， 具体为一种电子级硫酸的制备工艺。 背景技术 0002 电子级硫酸又称高纯硫酸、 超纯硫酸， 属于超净的关键基础化学试剂,广泛应用于 半导体澳门新莆京游戏大厅、 超大规模集成电路的装配和加工过程澳门太阳游戏网站， 主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去 晶片.上的杂质颗粒、 无机残留物和碳沉积物。 电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成 品率、 电性能及可靠性有着重要的影响。 0003 目前， 中国已成为世界IT工业和液晶显示器(LCD。

　　8、)需求增长最快的国家,中国优势 企业的竞争力正在不断增强,长期成长空间巨大,已成为化工行业中发展速度最快、 最具活 力的行业之一。 而与之配套的超净高纯试剂的需求也是逐步增加,电子级硫酸的消耗量约 占高纯试剂总量的30,电子级硫酸的市场需求前景广阔。 0004 目前， 中国电子级硫酸的生产一般采用精馏法， 常压精馏的温度高达330C,对设备 材质要求较高； 减压精馏的温度为175190C,压力为1.332.67kPa。 精馏法能耗大， 成本 高， 有些杂质难以除去,产生的废气、 酸雾对有害,不利于环境保护， 只适合于小规模生 产。 发明内容 0005 (一)解决的技术问题 0006 针对现。

　　9、有技术的不足， 本发明提供了一种电子级硫酸的制备工艺， 解决了现有技 术能耗大， 成本高， 有些杂质难以除去,产生的废气、 酸雾对有害,不利于环境保护， 只 适合于小规模生产的问题澳门娱乐娱城官网。 0007 (二)技术方案 0008 为实现以上目的， 本发明通过以下技术方案予以实现： 一种电子级硫酸的制备工 艺， 包括以下步骤： 0009 S1.首先将准备好的三氧化硫气体通入除雾器除雾， 然后将除雾处理后的气体通 入到吸收塔内； 0010 S2.打开吸收塔上设置的超纯水阀门向吸收塔内通入超纯水， 超纯水将三氧化硫 气体吸收生成高纯硫酸溶液澳门新莆京游戏大厅澳门娱乐娱城官网， 然后生成的高纯硫酸溶液从吸收塔流入混合槽内； 0011 S3.。

　　10、将混合槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却， 冷却后的硫酸再次回到 吸收塔内吸收三氧化硫气体， 使得高纯硫酸浓度继续提升， 然后再次流入到混合槽内， 这一 过程一直保持循环， 直到混合槽液位上升至指定溢流口， 高纯度硫酸溢流至曝气塔； 0012 S4.打开曝气塔氮气阀门， 在曝气塔内通入高压高纯氮气， 高压高纯氮气对硫酸溶 液进行吹脱， 去除其中的二氧化硫气体， 去除掉二氧化硫气体的硫酸进入成品储槽存放； 0013 S5.将成品储槽内的高纯度硫酸通入过滤器内进行高精度过滤， 然后将过滤后的 硫酸进行充填处理得到电子级硫酸； 说明书 1/3 页 3 CN 111994879 A 3 0014 澳门娱乐娱城官网。

　　11、S6.吸收塔尾气通入尾气吸收塔， 即一级水洗塔， 然后向尾气吸收塔内通入超纯 水澳门第一娱乐娱城官网， 尾气中的三氧化硫经被超纯水洗涤下来， 生成硫酸， 流到副产品槽内； 0015 S7.将尾气吸收塔内处理过的气体以及其他尾气通入到二级水洗塔内， 向二级水 洗塔内加入双氧水， 双氧水与尾气中二氧化硫反应成硫酸， 排放到副产品槽； 0016 S8.将副产品槽内的硫酸经过充填处理得到工业级硫酸； 0017 S9.将二级水洗塔内处理过的尾气通入一级碱洗塔， 向一级碱洗塔内通入NaOH溶 液， 处理后产生的废水通入工厂的废水处理站， 处理后产生的废气高空排放。 0018 优选的， 所述步骤S2中的向吸收塔内通入超纯水的流。

　　12、量控制在150-200kg/h。 0019 优选的澳门新莆京游戏大厅， 所述吸收塔内的液位控制在80-90 0020 优选的， 所述步骤S4中向曝气塔中通入的氮气的压力为3kg/cm3。 0021 优选的， 所述步骤S7中的其他尾气包括混合槽、 成品储槽澳门新莆京游戏大厅、 副产品槽以及充填过程 生成的硫酸雾， 还包括曝气塔产生的氮气和二氧化硫气体。 0022 优选的， 所述步骤S7中的双氧水溶液中H2O和H2O2的的比例为1： 8。 0023 优选的， 所述步骤S9中的NaOH溶液中NaOH和H2O的比例为1： 1152。 0024 (三)有益效果 0025 本发明提供了一种电子级硫酸的制备工艺。 具备以下有益效果： 0026。

　　13、 相比于现有技术， 该制备工艺通过气体吸收法来制备电子级硫酸， 该方法耗能以 及成本都比较低， 并且拥有较高的杂质去除率， 同时制备的过程中生成的污染气体大部分 都被处理干净澳门新莆京游戏大厅， 对环境产生的污染很小， 非常适合大规模生产。 附图说明 0027 图1为本发明提供的电子级硫酸的制备工艺流程图。 具体实施方式 0028 下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、 完 整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例澳门第一娱乐娱城官网， 而不是全部的实施例。 基于 本发明中的实施例澳门第一娱乐娱城官网， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例， 都属于本发明保护的范围。 。

　　14、0029 实施例： 0030 如图1所示， 本发明实施例提供一种电子级硫酸的制备工艺， 包括以下步骤： 0031 S1.将65948.29t三氧化硫溶液加热生成的三氧化硫气体经除雾器除雾， 除雾处理 后的气体通入到吸收塔内； 0032 S2.打开超纯水阀门向吸收塔内通入18172.72t超纯水， 超纯水从上到下穿过三氧 化硫气体， 将三氧化硫气体吸收得到高纯硫酸产品， 然后生成的高纯硫酸溶液从吸收塔流 入混合槽内， 同时还会生成3.6t96硫酸进入到副产品槽内； 0033 S3将混合槽的高纯硫酸溶液经由泵输送至冷却器冷却， 冷却后的硫酸再次回到吸 收塔内吸收三氧化硫气体， 使得高纯硫酸浓度继续。

　　15、提升， 不断提纯， 然后再次流入到混合槽 内， 这一过程一直保持循环澳门娱乐网址澳门第一娱乐娱城官网， 直到混合槽液位上升至指定溢流口， 高纯度硫酸溢流至曝气 塔； 说明书 2/3 页 4 CN 111994879 A 4 0034 S4.打开曝气塔氮气阀门， 在曝气塔内通入压力为3kg/cm3的高纯氮气， 高压高纯 氮气从下到上对硫酸溶液进行吹脱， 去除其中的二氧化硫气体， 去除掉二氧化硫气体的硫 酸进入成品储槽存放， 将成品储槽内的高纯度硫酸通入过滤器内进行高精度过滤澳门新莆京游戏大厅， 然后将 过滤后的硫酸进行充填处理得到84000t电子级硫酸； 0035 S5.吸收塔内产生117.41t尾气通入尾气吸收塔， 即一级水洗塔， 然后向尾气澳门娱乐网址。

　　16、吸收 塔内通入31.21t超纯水， 尾气中的三氧化硫经被超纯水洗涤下来， 生成144.24t96硫酸， 流到副产品槽内； 0036 S6.将尾气吸收塔内处理过的气体以及其他尾气总计4.38t通入到二级水洗塔内， 向二级水洗塔内加入0.09t水和0.72tH2O2， 双氧水与尾气中二氧化硫反应成2.16t硫酸， 排 放到副产品槽澳门新莆京游戏大厅， 副产品槽内的硫酸经过充填处理得到150t工业级硫酸； 0037 S7 .将二级水洗塔内处理过的3t尾气通入一级碱洗塔， 向一级碱洗塔内通入 2.45tNaOH和2823t水进行碱洗澳门新莆京游戏大厅， 处理后产生的1388.33t废水通入工厂的废水处理站， 处理 后产生的0.12t废气高空排放， 剩下1440t水回收再利用。 0038 以上为采用该制备工艺一年时间的制备情况澳门新莆京游戏大厅， 65948.29t三氧化硫溶液制作了 84000t电子级硫酸和150t工业级硫酸澳门太阳游戏网站， 通过该数据可以得知本发明提出的制备工艺可以大 规模生产电子级硫酸。 0039 尽管已经示出和描述了本发明的实施例， 对于本领域的普通技术人员而言， 可以 理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、 修改、 替换 和变型， 本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。 说明书 3/3 页 5 CN 111994879 A 5 图1 说明书附图 1/1 页 6 CN 111994879 A 6 。